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專利狀態(tài)
一種優(yōu)化原子層沉積的方法
有效
專利申請進(jìn)度
申請
2019-12-20
申請公布
2021-06-22
授權(quán)
2022-05-06
預(yù)估到期
2039-12-20
專利基礎(chǔ)信息
申請?zhí)?/td> CN201911321990.8 申請日 2019-12-20
申請公布號 CN113005424A 申請公布日 2021-06-22
授權(quán)公布號 CN113005424B 授權(quán)公告日 2022-05-06
分類號 C23C16/02;C23C16/455;C23C16/40;H01L33/56
分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
申請人名稱 明基材料股份有限公司
申請人地址 中國臺灣桃園市
專利法律狀態(tài)
  • 2022-08-26
    著錄事項變更
    狀態(tài)信息
    著錄事項變更；IPC(主分類):C23C16/02；變更事項:發(fā)明人；變更前:鄧仕杰 黃如慧；變更后:鄧士杰 黃如慧
  • 2022-05-06
    授權(quán)
    狀態(tài)信息
    授權(quán)
  • 2021-07-09
    實質(zhì)審查的生效
    狀態(tài)信息
    實質(zhì)審查的生效；IPC(主分類):C23C16/02；申請日:20191220
  • 2021-06-22
    公布
    狀態(tài)信息
    公布
摘要
本發(fā)明公開了一種優(yōu)化原子層沉積的方法，包含下列步驟：（A）提供一纖維素納米纖維；（B）以一酸化處理劑對纖維素納米纖維進(jìn)行一酸化處理；（C）以一疏水處理劑對經(jīng)酸化處理的纖維素納米纖維進(jìn)行一疏水處理；（D）將經(jīng)酸化及疏水處理的纖維素納米纖維溶于一溶劑中，形成一纖維素納米纖維溶液；（E）將纖維素納米纖維溶液涂布于一硅膠薄膜上；（F）對涂布后的硅膠薄膜進(jìn)行一加熱處理，以在硅膠薄膜的表面上形成一纖維素納米纖維層；以及（G）以原子層沉積法（Atomic Layer Deposition，ALD）在具有纖維素納米纖維層的硅膠薄膜表面形成一無機鍍膜層。